净化间沾污分类有哪些

净化间亦称为无尘室或洁净室，那么净化间沾污分类有哪些？为大家解答一下。

沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害芯片成品率及电学性能的不希望有的物质，净化间沾污分为五类：

1、颗粒，所有可以落在硅片表面的都称作颗粒，主要来源于空气、人体、设备和化学品。

2、金属杂质，来源于化学试剂，离子注入，反应离子刻蚀等工艺。

3、有机物沾污，来源于环境中的有机蒸汽，清洁剂和溶剂，存储容器和光刻胶的残留物。

4、自然氧化层，来源于空气，或水中迅速生长而成。

5、静电释放（ESD），是指静电从一个物体向另一个物体未经控制的转移，可能会损坏芯片。